&

^{<style id="4k4hp"></style>}

<style id="4k4hp"></style>

<sub id="4k4hp"><optgroup id="4k4hp"></optgroup></sub>

<style id="4k4hp"></style>

時代高科---真空干燥?整廠輸送與倉儲系統提供商

English

公司介紹

產品中心

研究院

服務支持

新聞中心

輕松了解半導體清洗工藝
圖文并茂帶您了解輕松了解半導體清洗工藝.......
半導體制程中清洗環節尤為重要
清洗貫穿整個半導體制造。半導體的清洗幾乎貫穿整個半導體的流程。從硅片制造時需要對拋光好的硅晶圓進行清洗，去除表面的污染物，到芯片制備中去除光刻膠、濕法刻蝕、CVD 等，再到最后的材料質檢。每一個環節都需要清洗以保證下一步不受雜質的干擾，保持產品的良率。同時隨著芯片制程的不斷縮小，所需要的進行的清洗次數也就越來越多。據統計，清洗工藝的次數占到了在整個芯片制造工藝步驟的三分之一，是芯片制造的重要環節。
真空材料
選擇適當材料、確保真空系統密封性和減少放氣源，是獲得并保持真空至為重要的事。而了解真空材料的性質和特點則是選擇好材料的前提。
真空泵裝配間隙問題
裝配間除零部件間的配合公差是極重要的參數，是直接影響真空泵性能的。前已分析過零件的精度和配合不好將會出現的毛底。
真空泵中真空材料的選材原則
對真空容器殼體及內部零件材抖的要求有以下幾點。
真空泵真空排氣量的確定
真空泵抽速的性能指標，凍干機真空系統從大氣壓抽到10Pa的時間不多于30min，所選主真空泵的極限真空應比凍干箱要求的極限真空高1~2個數量級。凍干機有預抽時間要求，對于冷阱和凍干箱共用一臺制冷機時，這個時間要求很重要。滿足不了時可能造成預凍制品融化。
真空泵真空的獲得方法
真空的獲得是真空技術的主要組成部分，借助于多種方法，可在被抽容器中獲得一定的真空度.目前可獲得的真空度范圍相當寬，從100kPa到10-11Pa,就電光源工業來說，也要從100kPa到10-4Pa。
真空泵在開動前的預熱
輸送熱石油產品的真空泵，在開動前應均勻地加以預熱。預熱可利用將熱油通過泵進行循環的方法來完成，泵殼的溫度不應比石油產品的工作溫度低40℃。裂化進料泵，平均地說，大約應預熱8小時。

1 2 3 4 5 6 7

公司介紹

產品中心

研究院

服務支持

新聞中心

24小時熱線

深圳 13636388018

上海 13636388018

天津 13821156318

贛州 13821156318

掃描二維碼
獲取最新動態

隱私政策服務條款人才招聘聯系我們

相關公司

粵ICP備09129031號深圳市時代高科技設備股份有限公司 Copyright ? 2014 Powered by vancheer

国产精品国产三级国产AV中文_国产AV无码一区二区二三区_无码专区视频中文字幕_无码人妻丝袜在线视频

五月天综合网缴情五月中文 | 日本精品专区一二三区 | 日本三级香港三级乳网站 | 亚洲一区二区三区在线 | 亚洲成a人片在线观看高清亚洲国产精品视频中文字幕 | 亚洲欧美中日韩中文字幕在线 |

<source id="k4gbf"><optgroup id="k4gbf"></optgroup></source>

<p id="k4gbf"></p>